شرح تفصيلي لمستشعر ضغط السيليكون المنتشر

مستشعر الضغط هو نوع من مستشعر الضغط الذي يمكن استخدامه في الحقول الكيميائية والكيميائية وغيرها من الحقول لقياس الضغط ، ويمكن أن يدرك التحكم التلقائي في الضغط عند استخدامه مع منظم الضغط.

مستشعر ضغط السيليكون /مقدمة في المبدأ

يعتمد مستشعر ضغط السيليكون الانتشار على مبدأ التأثير piezoresistive ، باستخدام تقنية العملية المتكاملة من خلال المنشطات والانتشار ، على طول الاتجاه البلوري المميز على رقاقة السيليكون الكريستالي المفردة ، لتشكيل مقاومة سلالة لتشكيل جسر من الحجر. يتم تصنيع الكشف عن تحويل القوة والكتلة الكهربائية.

يعمل ضغط مستشعر ضغط السيليكون المنتشر مباشرة على الحجاب الحاجز للمستشعر (الفولاذ المقاوم للصدأ أو السيراميك) ، مما تسبب في حجاب الحجاب الحاجز لإنتاج الإزاحة الدقيقة مع ضغط الوسط ، وتغيرات مقاومة المستشعر. تكتشف الدائرة الإلكترونية هذا التغيير وتحوله. إشارة القياس القياسية المقابلة لهذا الضغط هي الإخراج.

ميزات مستشعر ضغط السيليكون الانتشار

1. مناسبة لصنع أجهزة الإرسال الصغيرة

لا يحتوي التأثير piezoresistive للمقاوم الحساس للقوة على شريحة السيليكون على منطقة ميتة في النطاق المنخفض بالقرب من نقطة الصفر ، ويمكن أن يكون نطاق مستشعر الضغط صغيرًا مثل عدة KPA.

2. حساسية الناتج العالية

يكون عامل حساسية مقاومة سلالة السيليكون أعلى من 50 إلى 100 مرة من مقياس الإجهاد المعدني ، وبالتالي فإن حساسية المستشعر المقابل مرتفع للغاية ، ومخرج النطاق العام حوالي 100mV. لذلك ، لا توجد متطلبات خاصة لدائرة الواجهة ، وهي أكثر ملاءمة للاستخدام.

3. دقة عالية

نظرًا لأن الاستشعار والتحويل الحساس واكتشاف المستشعر يتحقق من خلال نفس المكون ، لا يوجد ارتباط تحويل وسيط ، وأخطاء التكرار والتباطرية صغيرة. نظرًا لأن السيليكون أحادي البلورة نفسه له صلابة عالية وتشوه صغير ، يتم ضمان خطي جيد.

4. نظرًا لأن التشوه الجنسي للعمل منخفض مثل ترتيب الإجهاد الدقيق ، فإن الحد الأقصى للتشريد للرقاقة المرنة هو في ترتيب من الفرع ، لذلك لا يوجد أي ارتداء ، لا التعب ، لا يوجد شيخوخة ، ومسافة العمر تصل إلى 1 × 107 دورة ضغط ، مع أداء مستقر وموثوقية عالية.

5. نظرًا لمقاومة التآكل الكيميائي الممتازة للسيليكون ، حتى أجهزة استشعار ضغط السيليكون غير المنتشرة غير المعزولة لديها القدرة على التكيف مع مختلف الوسائط إلى حد كبير.

6. نظرًا لأن الرقاقة تعتمد عملية متكاملة وليس لها مكونات نقل ، فهي صغيرة الحجم والضوء في الوزن.

احتياطات مستشعر ضغط السيليكون للاستخدام

1. عندما يتم تحديد المدى الزائد أو غير المدى ، يجب التحكم في السعة في ± 30 ٪ FS.

2. ينقسم وضع الضغط إلى ضغط المقياس والضغط المطلق وضغط الختم ، والذي يمكن اختياره بشكل معقول وفقًا للاحتياجات.

3. تأكيد الحد الأقصى للحمل الزائد للنظام. يجب أن يكون الحد الأقصى للحمل الزائد للنظام أقل من حد حماية الحمل الزائد للمستشعر ، وإلا فإنه سيؤثر على عمر خدمة المنتج وحتى تلف المنتج.

4. لا تلمس الحجاب الحاجز بأي كائنات صلبة ، وإلا فإنه سيؤدي إلى تمزق الحجاب الحاجز.

5. إن مادة وعملية تصنيع جوهر الضغط السلبي ليست هي نفسها الضغط الإيجابي ، لذلك لا يمكن استبدال قلب الضغط السلبي بلون ضغط المقياس.

6. تعويض ، تحقق من دليل التعليمات بعناية قبل التثبيت لتجنب الأضرار التي لحقت بالمنتج الناجم عن التثبيت الخاطئ.

7. يمكن أن يؤدي استخدام Improper إلى الخطر والإصابة الشخصية.

8. يتم سحب النواة من السكن ، ومن المحظور سحب الأسلاك وأرجل الأنبوب.

تطبيقات مستشعر ضغط السيليكون الانتشار

تستخدم أجهزة استشعار ضغط السيليكون بشكل أساسي في أنظمة التحكم في العملية ، وأدوات معايرة الضغط ، والأنظمة الهيدروليكية ، والأدوات الطبية الحيوية ، والأنظمة الهيدروليكية والصمامات ، وقياس المستوى السائل ، ومعدات التبريد ، وصناعات التحكم في HVAC. يمكن القول أن جميع الصناعات ذات المتطلبات العالية الأتمتة ، قد تستخدم أجهزة استشعار ضغط السيليكون المنتشرة.